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Accexp透明網(wǎng)片的厚度測量解決方案
2015-08-14
Accexp透明網(wǎng)片的厚度測量解決方案可以使用納米分辨率，而且可以在不接觸目標(biāo)的情況下測量厚度。Accexp透明網(wǎng)片的厚度測量解決方案的特點(diǎn)就是精度高，可以測量5um厚度，而且可以測量多層薄膜。
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ACCEXP-SI-F 系列
微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計(jì) -
隆重推出業(yè)界超細(xì)微型傳感頭，其擁有同類產(chǎn)品中最高的測量精度，并實(shí)現(xiàn)了過去認(rèn)為不可能實(shí)現(xiàn)的性能。
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ACCEXP-SI-F 系列
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ACCEXP-SI-F80R 系列
分光干涉式晶片厚度計(jì) -
采用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可測量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產(chǎn)生的顯著差異，也可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的生產(chǎn)線上測量。
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ACCEXP-SI-F80R 系列
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