湖南省長(zhǎng)沙市開福區(qū)車站北路湘域智慧南塔
0731-84284278
0731-84284278
service@hncsw.net
0731-84284278
牛津儀器 OpAL原子層沉積(ALD)系統(tǒng)
名稱:其他儀器與工具
品牌:
型號(hào):
簡(jiǎn)介:原子層沉積 (ALD) 是一種真正的納米技術(shù), 可以準(zhǔn)確可靠地沉積僅幾個(gè)納米厚的超薄薄膜。等離子體可以實(shí)現(xiàn)出色的表面預(yù)處理, 控制薄膜性質(zhì)以及作為種類廣泛的沉積源。牛津儀器 OpAL原子層沉積(ALD)系統(tǒng)是一種帶有等離子體選項(xiàng)的直開式熱原...
ALD產(chǎn)品家族涵蓋的系列設(shè)備可以滿足學(xué)術(shù)界、企業(yè)研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)的多種需求。
OpAL系統(tǒng)可通過(guò)清晰而易行的途徑升級(jí)為等離子體,這樣便可在一個(gè)結(jié)構(gòu)緊湊的設(shè)備上實(shí)現(xiàn)等離子體和熱ALD。
緊湊型直開式熱原子層沉積(ALD)設(shè)備,帶有等離子選項(xiàng)
適用于小尺寸至200mm的晶圓片
蒸汽吸取或鼓泡四種液體或固體前驅(qū)體
實(shí)時(shí)檢測(cè)選項(xiàng),包括與ALD控制軟件相聯(lián)的光譜橢偏儀
牛津儀器有大量的工藝儲(chǔ)備,并且還在不斷開發(fā)新的工藝。我們?yōu)樗械腁LD設(shè)備提供終身免費(fèi)的、延續(xù)不斷的工藝支持,我們還將為您提供關(guān)于開發(fā)新材料的建議,同時(shí)繼續(xù)與您共享包括新工藝配方在內(nèi)的新的ALD工藝進(jìn)展。
可配備帶有樣品傳送入口的氮?dú)獯祾呤痔紫?nbsp;- 適用于干燥環(huán)境
易于拆卸的內(nèi)腔室 - 減少腔室清洗時(shí)間
機(jī)柜可安裝在抽氣管路上并附帶氮?dú)獯祾?nbsp;- 以確保健康和安全的承諾
氣動(dòng)起重裝置 - 用于安全打開腔室
可配備抽氣罩或氮?dú)獯祾呤痔紫?nbsp;- 以確保健康和安全的承諾
最新產(chǎn)品
相關(guān)產(chǎn)品
提交您的需求,我們將盡快與您聯(lián)系
完善您的信息,艾克賽普專業(yè)團(tuán)隊(duì)為您提供服務(wù)!
請(qǐng)選擇您要填寫的表單類型 *
獲取產(chǎn)品報(bào)價(jià)
獲取方案詳情
申請(qǐng)技術(shù)服務(wù)
公司名稱 *
姓名 *
手機(jī)號(hào) *
郵箱
需求描述 *
驗(yàn)證碼 *