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SE401 在線式激光橢偏儀
名稱：涂鍍層測厚儀
品牌：
型號(hào)：
簡介：SE401 在線式激光橢偏儀簡單信息： 在線式激光橢偏儀，可以在線測量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的單波長橢偏儀， 使用旋轉(zhuǎn)分析器，對(duì)測量橢偏角度有高重復(fù)性和長期穩(wěn)定性，快速測量數(shù)據(jù)，基于windows操作系統(tǒng)的軟件使測量精確、快速、簡...
- 產(chǎn)品介紹
SE401 在線式激光橢偏儀簡單信息： 在線式激光橢偏儀，可以在線測量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的單波長橢偏儀， 使用旋轉(zhuǎn)分析器，對(duì)測量橢偏角度有高重復(fù)性和長期穩(wěn)定性，快速測量數(shù)據(jù)，基于windows操作系統(tǒng)的軟件使測量精確、快速、簡單。SE 401過程控制橢偏儀適用于監(jiān)控動(dòng)態(tài)過程，如不同環(huán)境下單層膜的生長或蝕刻過程。
SE401 在線式激光橢偏儀規(guī)格
·激光波長 632.8 nm
·測量時(shí)間最小80 ms（測量Ψ,Δ數(shù)據(jù)）。
·接口配置，用于將橢偏儀安裝在反應(yīng)腔上。
·激光聚焦高度調(diào)節(jié)
·應(yīng)力釋放窗口
·基于windows系統(tǒng)的操作分析軟件，在線監(jiān)控橢偏測量并計(jì)算單層膜的膜厚、折射率。
選項(xiàng)
·高真空應(yīng)力釋放窗口
·使橢偏儀正面向上的附加置換單元
·雙波長激光 (可選405 nm或1550 nm)
·角度計(jì)可調(diào)節(jié)入射角，步進(jìn)值5度。載物臺(tái)直徑150mm
·TIMECALC 軟件，動(dòng)態(tài)橢偏測量模擬和分析軟件。
廠商名稱： SENTHCH
商品名稱： 在線式激光橢偏儀
商品型號(hào)： SE401
最新產(chǎn)品
